Prozessentwicklung & -transfer: Leitung der Prozessentwicklung und des Transfers zur Einführung und Skalierung neuer SiC-Leistungstechnologien.
Prozessqualifizierung: Entwicklung und Qualifizierung neuer und abgeleiteter Prozesse für SiC-Leistungsbauelemente.
Prozessparameter: Identifikation und Überwachung wichtiger Prozessparameter sowie Korrelierung von Geräte- und Prozessmerkmalen für SiC-MOSFETs und Dioden.
Projektleitung & Teamführung: Leitung von Projekten und interdisziplinären Teams zur Optimierung der Prozessintegration, Bewertung und Definition der besten Methoden (BKM), Festlegung der Prozessspezifikationen zur Erfüllung der Geräteanforderungen.
Datenanalyse: Nutzung umfangreicher Datenanalysen aus Parametertests von Wafern, Prozesskontrollstrukturen und Inline-Prozesskontrollen zur Korrelierung von Prozess- und Gerätekennwerten in ...
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